HEIDENHAIN光柵尺工作原理

HEIDENHAIN直線光柵尺是高精度定位和高速加工機床  的基礎技術手段。直線光柵尺測量直線軸位置，無需任何其它機械傳動件。有效避免多個潛在誤差源的影響：滾珠絲杠發熱導致的定位誤差；反向誤差；滾珠絲杠螺距誤差導致的運動特性誤差。敞開式直線光柵尺包括光柵尺或鋼尺帶和讀數頭，光柵尺和讀數頭間無機械接觸。敞開式直線光柵尺的尺帶固定在安裝面上。因此，為確保直線光柵尺的高精度，必須確保安裝面平面度達到高標準。海德漢光柵尺 LIC 為絕對式位置測量的光柵尺，最大測量范圍達 28 m 并允許高速運動。

光柵是在玻璃或鋼帶尺上，制作的一系列條紋和狹縫，一個條紋和一個狹縫的寬度稱為柵距，常見柵距20um。讀數頭每掃描一個柵距，就產生一個正弦波信號周期，此信號再通過一個電子電路進行細分（讀數頭內置的或者外部細分盒），比如5，10，50，100倍的細分，所以可以達到很高的分辨率。比如，一個20um柵距，經過50倍細分，那一個周期就是0.4um，這就是廠商說的分辨率。一般海德漢光柵尺的精度可以達到多少？1μm。需要注意的是，這里說的精度，是光柵尺的制造誤差，指每走 1m 實際可能的誤差，而如果小距離行走，誤差會更小，比如 0.275μm/10mm， 0.750μm/50mm等。

在使用時要注意安全，具體需要注意的問題有：

　　(1)海德漢光柵尺傳感器與數顯表插頭座插拔時應關閉電源后進行。

　　(2)盡可能外加保護罩，并及時清理濺落在尺上的切屑和油液，嚴格防止任何異物進入光柵尺傳感器殼體內部。

　　(3)定期檢查各安裝聯接螺釘是否松動。

　　(4)為延長防塵密封條的壽命，可在密封條上均勻涂上一薄層硅油，注意勿濺落在玻璃光柵刻劃面上。

　　(5)為保證海德漢光柵尺光柵尺傳感器使用的可靠性，可每隔一定時間用乙醇混合液(各50%)清洗擦拭光柵尺面及指示光柵面，保持玻璃光柵尺面清潔。

　　(6)海德漢光柵尺傳感器嚴禁劇烈震動及摔打，以免破壞光柵尺，如光柵尺斷裂，光柵尺傳感器即失效了。

　　(7)不要自行拆開海德漢光柵尺傳感器，更不能任意改動主柵尺與副柵尺的相對間距，否則一方面可能破壞光柵尺傳感器的精度;另一方面還可能造成主柵尺與副柵尺的相對摩擦，損壞鉻層也就損壞了柵線，以而造成光柵尺報廢。

　　(8)應注意防止油污及水污染海德漢光柵尺面，以免破壞光柵尺線條紋分布，引起測量誤差。

　　(9)海德漢光柵尺傳感器應盡量避免在有嚴重腐蝕作用的環境中工作，以免腐蝕光柵鉻層及光柵尺表面，破壞光柵尺質量。

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HEIDENHAIN光柵尺工作原理